La misura precisa e ripetibile dell'altezza del gradino è necessaria per molte applicazioni hi-tech. Taylor Hobson fornisce una gamma di strumenti progettati per soddisfare i requisiti più elevati per la misura dell'altezza del gradino. Tali strumenti coprono intervalli di altezza del gradino da misure inferiori al nanometro al millimetro con ripetibilità inferiore a 0,1 nm.

Metrologia

Altezza del gradino in 3D
Fornisce il dislivello tra due piani definiti da due aree su una superficie. La prima area è definita come il riferimento con cui il software stabilisce un piano di quadrati minimi. A partire da questo piano, viene misurato il secondo. Oltre ad altezza del gradino media, ad altezza massima e minima, può essere misurata anche la differenza di angolazione.

Altezza del gradino in 2D
Fornisce un metodo per misurare l'altezza del gradino per le forme geometriche semplici, quali le linee incise o le aree rettangolari. L'altezza del gradino in 2D può anche essere utilizzata per misurare lo spessore di esposizione di un bordo.

Altezza del gradino ISO 5436-1
Quando si tenta di confrontare le misure dell'altezza del gradino eseguite con strumenti di misura differenti, è molto importante rispettare un metodo di standard. L'ISO 5436-1 fornisce un metodo riconosciuto a livello internazionale per misurare l'altezza del gradino. Gli strumenti di cui sopra supportano questo standard.