Oggi i sistemi microelettro-meccanici sono utilizzati per numerose applicazioni, quali sensori di pressione e di accelerazione, micro-dispositivi di visualizzazione a specchio e micro-pompe fluidiche. I dispositivi MEMS ampliano le tecniche di fabbricazione utilizzate dal settore dei circuiti integrati per creare elementi meccanici, quali ingranaggi, diaframmi e travi di collegamento. La misura accurata di tutti questi elementi è fondamentale per soddisfare la domanda di produzione di massa di dispositivi MEMS di alta qualità a basso costo.

Metrologia

Rugosità
La misura precisa della rugosità all'interno dei dispositivi MEMS permette di controllare le interazioni superficiali, sia che si tratti di interazioni solido-solido come nei sistemi a microingranaggi, sia di iterazioni solido-liquido come nelle micro-pompe a fluido.

Altezza del gradino
Il monitoraggio dell'altezza del gradino dei dispositivi MEMS è un indicatore importante delle prestazioni. Unitamente alle informazioni sulle dimensioni laterali, l'altezza del gradino offre una buona approssimazione della massa che influenza la frequenza di oscillazione fondamentale dei singoli elementi del dispositivo.

Dimensioni laterali
Le dimensioni laterali sono particolarmente importanti nella caratterizzazione dei microingranaggi e dei sistemi fluidici. La misurazione accurata del volume e della superficie, nonché delle dimensioni importanti come l'ampiezza del fascio aiutano a controllare le prestazioni del dispositivo finale.